这种火灾可以用水进行灭火，三氯氢硅发生火灾，可以用大量的水进行覆盖，稀释并冷却进行灭火，因为这种物质会溶于水，溶于水的三氯氢硅呈酸性，并且发生火灾产生的气体为有毒气体，在扑救火灾时消防队员要做好防护，并且及时疏散下风方向的人员。