三氯硅是一种化学物质，分子式是SiHCl3。

三氯氢硅 也就是三氯硅烷，主要用于制造硅酮化合物 盐酸在工业制造中有广泛的用途，在氯乙烯合成过程中为了能使乙炔反应完全，通常使用氯化氢过量，另外盐酸在可选研究中也作为一种很重要的化学试剂。

三氯硅主要用于合成多种有机硅化合物。半导体工艺封装材料。