区别是:三氯氢硅，又称三氯硅烷，是一种无机物，在常温下为具有刺激性氯化氢气味易流动易挥发的无色透明液体。在空气中极易燃烧，遇明火则强烈燃烧，燃烧时发出红色火焰和白色烟。它是高分子有机硅化合物的原料。而工业硅又称金属硅，是由硅石和碳质还原剂在矿热炉内冶炼成的产品，主成分硅元素的含量在98%左右，其余杂质为铁、铝、钙等。