芯片与光刻机的区别是，芯片是产品，而光刻机是工具。

芯片是由硅晶圆加工而成的，使用光刻机、蚀刻机、离子注入机等设备进行多次曝光、蚀洗、离子注入，才能得到一颗芯片。一台euv光刻机大约每天能加工八百片晶圆，以12寸晶圆尺寸来说，每片五百颗，产能大约是40万颗芯片。