5纳米。

12英寸晶圆跟几纳米没必然关联。12英寸晶圆是制作芯片的主要材料，12英寸既300毫米直径的硅基晶圆，以光刻机在上面进行超大规模集成电路刻制。刻制芯片的制程可以最小到3纳米，大到几十几百纳米的芯片。具体多少纳米要看厂家生产什么类型的芯片。比如主流高端手机5纳米芯片，用12英寸晶圆，每片可以刻制大约500枚芯片。