原理：臭氧具有仅次于氟的强氧化性，完全有能力将烟气恶劣环境中的硝氧化成高价态，提高烟气中氮氧化物的水溶性，从而通过湿法洗脱硝。

利用臭氧将硝氧化为高价态的氮氧化物后，需要进一步地吸收。常见的吸收液有Ca(OH)2、NaOH 等碱液。不同的吸收剂产生的脱除效果会有一定的差异。

例如有人在利用水吸收尾气时，硝的脱除效率可达到86.27%，这是利用气体在水中的溶解度进行吸收，也有试验利用吸收液将高价氮氧化物还原成为N2 后直接排入大气中。