是指由两种不同的半导体薄层交替排列所组成的周期列阵。如镓铝砷/镓砷、锗—硅/硅等超晶格新型正极材料，是制备半导体光电子学、光子学材料和器件的重要技术。超晶格新型正极材料是两种不同组元以几个纳米到几十个纳米的薄层交替生长并保持严格周期性的多层膜，事实上就是特定形式的层状精细复合材料。