负压蒸汽指气压小于大气压，温度低于100℃的蒸汽。这种蒸汽的应用得到了迅速的发展。

当负压饱和蒸汽像正压蒸汽那样使用时，可以通过调节气压迅速改变蒸汽的温度，使精确控温成为可能，而热水则做不到这点。然而负压蒸汽设备必须配有真空泵，因为仅仅降低气压是不会使其低于大气压的。