不用中子射线。因为中子射线具有穿透力，而穿透力产生的折射会浪费大量的能量，致使光刻机效率低下，甚至无法工作，所以不用中子射线。

顶尖光刻机用波长13.5纳米的极紫外光源，好刻10纳米以下的线条。但稳定的、大功率的极紫外光源很难造，一个得3000万元人民币。要求工作环境严苛，配合的光学和机械部件又极端精密，所以荷兰的asml公司独家垄断极紫外光刻机，创造了“一台卖一亿美金”的神话。