光刻机对人没什么影响。

光刻机作为高端光电、化学、机械精密大型仪器，其使用规章是非常严格的，有可能对人体造成影响的比如激光及化工类元器件都是处于封闭状态，基本上隔绝外部空气，因为这也是保证光刻机加工精度的技术要求。所以光刻机对环保并不会造成影响。其内部激光也是紫外光，只要不是直接照射并不会对人有影响。