利用光波干涉现象测量平面度误差的，故其测量方法称为平晶干涉法，也称技术光波干涉法。测量时，把平晶放在被测表面上，且与被测表面形成一个很小的楔角θ，以单色光源照射时会产生干涉条纹。

干涉条纹的位置与光线的入射角有关。

如入射光线垂直于被测表面，且平晶与被测表面间的间隙很小，则由平晶测量面P反射的光线与被测表面反射的光线在测量面P发生干涉而出现明或暗的干涉条纹。

若在白光下，则出现彩色干涉条纹。

如干涉条纹平直，相互平行，且分布均匀，则表示被测表面的平面度很好如干涉条纹弯曲，则表示平面度不好。