SiHCⅠ3是三氯硅烷的化学式，它的相对分子质量为：28＋1＋35.5x3＝135.5。三氯硅烷又叫硅仿，常温常压下为具有刺激性恶臭、易流动、易挥发、易潮解的无色透明液体，易溶苯、醚、氯仿和二硫化碳等有机溶剂。三氯硅烷是硅产品系列中最重要的中间产物，它是制造多晶硅的重要原料。在太阳能光伏方面和电子信息产业方面有着重要的意义。