氢化车间是将产生的四氯化硅加氢气还原成三氯氢硅。多晶硅生产主要的车间是提纯、还原、干法分别指的是原料三氯氢硅提纯，进入还原炉，反应过后的气体进行回收，进入干法，分离出未反应的三氯氢硅，继续回到还原，氢气也是回到还原车间，产生的四氯化硅，可以进入氢化车间。氢化车间就是将产生的四氯化硅加氢气还原成三氯氢硅，然后进入还原车间。