有属于材料学的部分。

光刻机是非常复杂的大型设备，涉及光电学、机械学、物理、化工、材料学等众多学科。其中光刻材料是指光刻工艺中用到的增粘材料、抗反射涂层、光刻胶、化学溶剂和显影液，还包括193nm浸没式光刻中用到的抗水涂层等。当然光刻机是不属于材料学，而是包含材料学。