分光器的分类有很多种，最主要的有两类，分别是FBT型(熔融拉锥式分光器)和PLC型(平面光波导功率分光器)。

与ICP光源配用的平面光栅光谱仪有两种，水平对称成像的艾伯特-法斯梯（Ebert-Fastic）光学系统和切尔尼-特纳（Czerny-Turner）系统。