1、光刻机 高精度光刻机

2、刻蚀设备 前三家厂商LAM、东京电子、应用材料市占率超过90%

3、镀膜设备 分为PVD和CVD

4、量测设备 主要包括自动检测设备（ATE）、分选机、探针台等。

5、清洗设备 主要设备厂商SCREEN、东京电子、LAM合计占比88%

6、离子注入设备。