是指微米到纳米级别的物体。具体情况如下。

微纳技术是针对制造与处理那些大小处于微米到纳米级别物体的一种高新技术，可谓“科学绣花针”。

微纳电子技术既考虑了微米科技的巨大潜力与作用，又着眼于纳米科技发展的前景，把‘纳’看作是‘微’的逻辑发展方向，又把‘微’与‘纳’米科技有机辨证的结合。