激光以固定的重复频率产生脉冲，通过光束分束镜产生了一系列稳定的激光光束。聚焦透镜将这些光束转变成焦点平面上的一个个光点。一个旋转的加工台上附着一层材料，它使得每个激光脉冲在特定位置穿孔。低强度的次级小光斑/光束可以被掩罩筛选消灭，加工过程中需要保持被打孔的薄层材料边缘的干净。