死于洛阳。史载久视元年(700年)狄仁杰进拜内史，随武则天巡幸三阳宫 ，获赐宅第一所，恩宠冠绝当朝。是年九月，狄仁杰病逝，终年七十一岁 。武则天废朝三日，追赠他为文昌右相，赐谥号文惠。神龙元年(705年)，唐中宗复辟，追赠狄仁杰为司空。景龙四年(710年)，唐睿宗继位，追封狄仁杰为梁国公。天宝六载(747年)，狄仁杰与张柬之、魏元忠等八人一同配享太庙，附祭于中宗庙廷。

后晋天福六年(941年)，狄仁杰被后晋朝廷追封为太师。