在国际上从加工精度来看：

普通加工的精度在0.01~0.1mm

精密加工精度在0.003~0.01mm

高精密加工精度在0.0001~0.003mm

而精度要求高于0.0001mm的属于超精密加工的精度。

所以高精度机床外形尺寸精度要达到0.0001mm到0.003之间。