原理:
碳化硅加工用长晶炉,包括固定杆、长晶炉主体、缓冲块和温度显示屏,所述固定杆的底侧安装有炉盖,且炉盖的内侧设置有调控板,所述调控板的外壁镶嵌有湿气进口,且调控板的顶端和泄压管相连接,所述长晶炉主体固定于炉盖的底侧,且长晶炉主体的内壁设置有隔热层。
所述长晶炉主体的内侧安装有长晶板,且长晶板的两侧设置有散热口,所述缓冲块设置于散热口的内侧,且缓冲块的中部固定有加热装置,所述温度显示屏镶嵌于加热装置的底端,所述炉盖的外圈镶嵌有密封圈,且密封圈的内侧设置有排湿口。
原创 | 2022-12-06 12:42:35 |浏览:1.6万
原理:
碳化硅加工用长晶炉,包括固定杆、长晶炉主体、缓冲块和温度显示屏,所述固定杆的底侧安装有炉盖,且炉盖的内侧设置有调控板,所述调控板的外壁镶嵌有湿气进口,且调控板的顶端和泄压管相连接,所述长晶炉主体固定于炉盖的底侧,且长晶炉主体的内壁设置有隔热层。
所述长晶炉主体的内侧安装有长晶板,且长晶板的两侧设置有散热口,所述缓冲块设置于散热口的内侧,且缓冲块的中部固定有加热装置,所述温度显示屏镶嵌于加热装置的底端,所述炉盖的外圈镶嵌有密封圈,且密封圈的内侧设置有排湿口。
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