2、5d光刻机可以做到4纳米。

所谓2.5d光刻机实际指的是芯片制造领域内作为后道工序的封装光刻机，至于封装光刻机能做到几纳米要看前道光刻机制程是几纳米的，因为2.5d光刻机的技术要求远远小于光刻机，所以前道光刻机出几纳米制程的，2.5d就能做到几纳米的。

比如上海微电子能制造的最先进光刻机是中端28纳米duv光刻机，而却可以制造5纳米的2.5d封装光刻机。