LED芯片制造常用设备

清洗机:用于外延片表面清洗。

光罩对准抛光机:用于LED光罩对准曝光微影制程。该设备是利用照相的技术JANTX2N7225定义出所需要的图形，因为采用感光剂易曝光，得在黄色灯光照明区域内工作，所以其I作的区域叫做“黄光区”。

单电子枪金属蒸镀系统:用于金属蒸镀(ITo，Al，△，Au，Ⅺ，Mo，Pd，Pt，Ag)金属薄膜欧姆接触蒸镀(四元LED，蓝光LED，蓝光LD)制程。

光谱解析椭圆测厚仪:半导体薄膜厚度及折射率监测。