上海生产的国产设备系统有

光刻机国产化——上海微电子

上海微电子代表着我国在光刻机领域的研究水平，其生产制造的光刻机在我国的市场中占比达到了80%以上。

上海微电子成立于2002年，主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务。