cps是计数率的单位，每秒采集到的信号数，通常是Kcps，KCPS是千次每秒的意思。

Kcps其数值的大小与能谱仪的采集窗口大小，扫描电镜的灯丝束流、束斑尺寸和工作距离等有关。cps是计数率的单位，每秒采集到的信号数，通常是Kcps，KCPS是千次每秒的意思。