质量流量控制器， 即Mass Flow Controller（缩写为MFC）， 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说，质量流量控制器就是一个稳流装置， 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。