微就是小，纳就是小到纳米级别，应用：CPU、手机CPU、各种微电子芯片（银行卡、公交卡，手机sim卡，耳机里的声音处理芯片，等等，还有U盘等各种基于硅材料的半导体存储设备）

微纳制造技术是指尺度为毫米、微米和纳米量级的零件，以及由这些零件构成的部件或系统的设计、加工、组装、集成与应用技术。

传统“宏”机械制造技术已不能满足这些“微”机械和“微”系统的高精度制造和装配加工要求，必须研究和应用微纳制造的技术与方法。

微纳制造技术是微传感器、微执行器、微结构和功能微纳系统制造的基本手段和重要基础。