至纯科技生产的高纯气体包括氩气、氮气等。

至纯科技通过控制高纯工艺介质（气体、化学品、水）的纯度，以实现其制程精度的要求，保障并提升产品良率。

公司主要业务包括：高纯工艺系统和半导体清洗设备。其中高纯工艺系统业务包括为电子、生物医药及食品饮料等行业的先进制造业企业提供高纯工艺系统的整体解决方案，以及进行高纯气体供应设备和高纯化学品输送设备的销售。半导体设备主要包括湿法槽式清洗设备和湿法单片式清洗设备，广泛应用于集成电路、平板显示等领域。