氧化镓和砷化镓是两种不同的物质。氧化镓化学式为Ga2O3，是一种透明的氧化物半导体材料。氧化镓是一种宽禁带半导体，Eg=4.9eV。砷化镓化学式为GaAs，为黑灰色固体，熔点1238℃。它在600℃以下能在空气中稳定存在，并且不被非氧化性的酸侵蚀。砷化镓是一种重要的半导体材料。属Ⅲ－Ⅴ族化合物半导体。属闪锌矿型晶格结构，晶格常数5.65×10-10m，禁带宽度1.4电子伏。