直径76.2毫米。

3寸晶圆通常指的是3英寸直径的晶圆，一英寸等于25.4毫米，所以3英寸晶圆的直径就是76.2毫米。这种规格的晶圆目前很少用于商业用途，因为芯片一般会设计成方形，这样3寸晶圆就会切掉非常多的余料，而且面积太小一次产出量非常低，一般都是用于实验室探索技术时使用。