对于干涉条纹可目视、测量读数。本仪器工作基于双光束等厚干涉原理

波长为的单色光经过仪器有关的光学系统后成为平面波M。经仪器的标准平面P1和被检系统P2反射为平面波M1和M2。M1、M2即为两相干光波，重叠后即产生等厚干涉条纹。

等厚干涉原理能够产生干涉的光束，叫相干光。