1、扩散泵不给力了 用电离规单接到扩散泵泵口，看扩散泵单抽能达到多少，要看抽的时间和极限

2、系统有微漏 慢慢检漏吧，看看保真空时间达不达标

3、箱体太脏 太脏放气量就大了

4、前级不行 机械泵或机械泵加罗茨泵的真空不行，可以用电阻规单独检测前级管道。