从集成电路制造中各部门的分工来说，光刻是为工艺集成（process intergration）服务的。最直接支持工艺集成的是光刻工艺工程师（lithography process engineer），又被称为“layer owner”。一个完整的集成电路制造流程有几十个光刻层，这些光刻层按技术的类似程度分配给光刻工艺工程师，使得他们分别负责一个或者几个光刻层。

光刻工艺工程师对所负责的光刻层做工艺参数的设置、优化对工艺稳定性做日常监测，并及时解决出现的技术问题。