取决于扫描电子束斑直径 。

一般认为在理想的情况下，扫描电镜的分辨率不可能小于扫描电子束斑直径，故束斑直径越小，电镜的分辨本领越高。束斑直径主要取决于电子光学系统(电子枪等)设备。入射电子束束斑直径： 为扫描电镜分辨本领的极限。一般，热阴极电子枪的最小束斑直径可缩小到6nm，场发射电子枪可使束斑直径小于3nm。

为什么扫描电镜的分辨率高

因为波长越短，频率越高，而频率越高越可以细化像素。也就是频率越高像素的点就会越小越密，就像积木越小摆的图形越逼真。所以波长越短，电镜的分辨率越高。