清洁度分析仪的工作原理：

紫外线照射后产生的荧光是一种特殊形态的冷光。当荧光分析的电子吸收了光子后能量提高，但是这种状态并不稳定，它会马上变回初始状态并把吸收的能量再次释放出来，发出荧光。由于部分能量转化成热量消耗了，所以发出的光线能量降低，波长也变长了。由于玷污物的荧光特性，通过一个含紫外光波的LED灯照射，清洁度分析仪即可探测出玷污物。仪器探头里的光电二极管负责测量UV荧光的强度。UV荧光越强表示污染程度越大，反之则越洁净。