等离子设备的功率一般有1000W/25KHz，电源220V/AC，50/60Hz，也有800W/25KHz，真空等离子设备是属于中频功率600W/13.56MHz，电压380V/AC，50/60Hz，根据自己的需求选用不同的设备来进行相应的处理。

等离子又叫做电浆，是由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质，尺度大于德拜长度的宏观电中性电离气体，其运动主要受电磁力支配，并表现出显著的集体行为。