原子扩散的微观机制有两种：间隙扩散和空位扩散。

一、间隙扩散

在间隙固溶体中溶质原子的扩散是从一个间隙位置跳到近邻的另一间隙位置，发生间隙扩散。

二、空位扩散

空位扩散机制认为晶体中存在的大量空位在不断移动位置。实现空位扩散有两个条件即扩散原子近邻有空位，该原子具有可越过势垒的自由能。