光伏晶体硅表面钝化技术可以有效地降低表面复合速率。高效晶体硅太阳电池就是利用良好的表面钝化技术来降低半导体的表面活性，使表面的复合速率降低。

其主要方式就是饱和半导体表面处的悬挂键，降低表面活性，增加表面的清洁程序，避免由于表面层引入杂质而形成复合中心，由此来降低少数载流子的表面复合速率。