原理：X射线照射样品，经过镀层界面，射线返回的信号发生突变，根据理论上同材质无限厚样品反馈回强度的关系推断镀层的厚度。

理论上两层中含有同一元素测试很困难（信号分不开）。2、XRF镀层测厚仪：俗称X射线荧光测厚仪、镀层测厚仪、膜厚仪、膜厚测试仪、金镍厚测试仪、电镀膜厚仪等。功能：精密测量金属电镀层的厚度。应用范围：测量镀层，涂层，薄膜，液体的厚度或组成，测量范围从22(Ti)到92(U)。物质受原级X射线或其他光子源照射，受激产生次级X射线的现象。