低温泵(cryopump)

利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵是获得清洁真空的极限压力zui低、抽气速率zui大的真空泵，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。