1.客户确定图形后,通过对专业设计软件进行二次编辑和处理。
2.依据版图设计数据分层。运算,根据工艺需求对相应的参数进行确定和格式转化。
3.掩膜版的制造采用的是正性光刻胶,通过光刻机中的激光作用需要曝光区域的光刻内部发生交联反应。
4.通过曝光后在显影液的作用下未曝光区域进行保留并保护膜层。
5.保护膜层的部分会保留图形的样式,再通过蚀刻液进行腐蚀溶解成型。
6.溶解成型后再通过脱模工序进行脱模液除去多余的光刻胶。
7.利用清水洗净掩膜版两面污染物。
8.完成以上步骤后,再进行尺寸测量得到准确的参数值。
9.接下来就是检测掩膜版的产品是否满足客户定制需求,对图形、排名、伤痕、图形边缘等全面检测和确认良品。
10.对良品进行包装,封箱贴好各种参数值,批次,数量等,最终进行发货。