SPM代表硫酸氫過氧化混合物。硫酸与过氧化氢的混合物是微电子行业普遍使用的清洗药液，业内简称spm。spm的主要用途是用来清洗基片，如硅晶圆、光掩模上的有机污染物。spm清洗有机污染物的主要工作原理是利用spm的强氧化性将有机物脱水并氧化成二氧化碳和水。