等离子清洗不会产生静电，离子清洗作为一种绿色无污染的高精密干法清洗方式，可以有效去除表面污染物，避免静电损伤。

其主要清洗原理为：无机气体被激发为等离子态→气相物质被吸附在固体表面→被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子→产物分子解析形成气相→反应残余物脱离表面。

为了在工业规模上进行表面处理，大尺寸且通常需要强离子辅助的均匀等离子处理对于解决工业规模的表面处理至关重要。例如半导体的等离子去胶，清洗等。