集成度，是指图形中最小线条宽度，集成电路的集成度是指单块芯片上所容纳的元件数目。一个系统的集成度，是指由系统整体所划分出的子系统的规模与复合程度。集成电路的线宽通常可理解为所加工的电路图形中最小线条宽度，但在MOS电路中，人们也常用栅极长度来定义线宽。集成度与线宽有对应关系，即集成度越高，线宽越小，所以，线宽也常用来表示集成电路制造技术水平的高低。