超声波干清洗 超声波干清洗机的原理是由两个喷嘴产生的高压风刀有效的清除 1.6-100 μm 的尘粒.这些尘粒从两个方向被吸附至真空腔.由于高速气流使工件表 面形成了一层粘膜，而超声波能将被吸附在粘膜上的微粒分离出来，最后吸 至真空腔。 ITO 玻璃进入生产车间之前、膜层制作工序之前、工作面组合之前，高档产 品和生产线，会加入超声波干洗，以减少玻璃表面积附的尘粒对生产车间、 下一道成膜工序和产品内部的污染。