努氏硬度约为2200，显微硬度为32630MPa。

在应用之初，氮化硅陶瓷主要用于机械、冶金、化工、航空、半导体等行业作为某些设备或产品的零件，并取得了良好的预期效果。近年来，随着制造技术和测试分析技术的发展，氮化硅陶瓷产品的可靠性不断提高。