真空泵缺水会烧坏泵，其原因是真空泵在停水的时候长时间运转，会导致密封圈的磨损，从而致使漏水引致真空泵烧坏。

如果是真空泵扩散泵循环水断掉，外面的盘管有的是用钎焊焊上去的，温度高到甚至是让水管的焊丝融化，管子掉下来，造成真空泵缺水会烧坏报废。其它的真空泵也是类似的原因，一般而言是极限真空度越高的泵，缺水造成的后果越严重。