为了降低晶体硅太阳电池的制造成本，并提高电池的光电转换效率，对太阳电池表面钝化技术的研究具有重要意义。

基于ALD技术在通过表面钝化提高晶硅太阳能电池转化效率方面的良好表现，ALD技术已开始进入光伏行业。