没区别。

纳米晶圆和硅晶没区别，只是表述不同。实际上没人叫纳米晶圆和硅晶，应该叫做硅晶圆，这是制作芯片的基础材料。硅晶圆本身没有纳米属性，纳米是长度单位，是用来表述芯片工艺制程的，也就是芯片内部最小构成单位硅晶体管栅极宽度为几纳米的。

纳米晶圆和硅晶的区别

硅晶和纳米属于不同类别事物，没法放一起比较。

硅晶指的是硅晶圆，是硅单体聚合成棒型后切割加工而成，是制造芯片的基础材料。而纳米这个词指的是物理单位长度，是度量衡单位。一纳米大约是头发丝横截面六万分之一的长度，一般在芯片行业是指芯片的工艺制程，既硅晶体管栅极宽度。一个是制造芯片的材料，一个是芯片的工艺制程的这家无法比较哪个好。