ESD控制规范
目录
1、目的3
2、适用范围3
3、职责3
3、1 公司ESD组织结构和职责3
3、2 外部供应商和合作方3
4、概要4
5、本公司的静电敏感器件列表 (自己建立)4
6、静电防护区域(EPA)的界定和标识4
6、1 EPA的划分4
6、2 EPA的ESD控制措施5
6、3 EPA标识6
7、静电敏感区域的工程环境防静电规范7
7、1 防静电工程环境的要求:7
7、2 地面的技术要求8
7、3静电敏感区域的防静电保护接地技术要求:8
8、静电敏感区域的人员防静电规范9
8、1各类人员的防静电知识培训要求及职责:10
8、2人体静电防护系统:11
8、3临时或外来人员的防静电管理:14
9、静电敏感区域的防静电操作规范15
10、静电敏感区域的工作台、工装、设备以及防静电器材的防静电规范16
10、1基本防静电要求:16
10、2防静电工作台的技术要求:16
10、3工作台的电气要求:17
10、4工作台的安装(配置)要求:18
10、5防静电工作台接地要求:18
10、6防静电工作台使用与维护要求:19
10、7落地设备的防静电技术要求:19
10、8台式设备的防静电技术要求:20
10、9工具的防静电技术要求:20
10、10工装的防静电技术要求:21
10、11防静液喷涂作业要求:21
10、12静电敏感区域的防静电器材规范:22
10、13EPA区内特殊情况处理25
目的本文ESD组织结构和职责
公司ESD控制组织结构框图:
3、1.1 公司ESD管理小组负责公司的防静电控制规范、标准的制定,建立健全ESD管理规章制度。定期组织ESD抽查和评审,确保公司ESD控制体系有效运行。
3、1.2各部门负责人负责本部门工作区域的静电防护措施的执行。
3、1.3工程部负责公